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minilab

小型实验室配有旋涂机、热板、去离子水系统和工艺槽。该设备能有效地对大学和研究中心的4英寸样品进行光刻。

•组成：旋涂机（spin-1200t）、热板、d.i水系统

•排水管

•排水槽

•排气

•氮气枪

•d.i水枪

•尺寸：1300（宽）*750（深）*1800（高）