mda-12fa
操作简单,plc操作,pc控制,图像采集和数据记录,100多个程序配方,显微镜位置控制系统,自动对齐标记搜索功能
类型:全自动
掩模版尺寸:最大14英寸
基板尺寸:8~12英寸
均匀梁尺寸:13.25*13.25英寸
紫外线光源:紫外线灯,2kw,5kw
光束波长:350~450nm
光束均匀度 <±5%
365 nm强度 2千瓦:~25毫瓦/㎠5千瓦:~45毫瓦/㎠
对齐方式:全自动
对准精度:1 um
加工方式:软、硬、真空接触、接近
工艺分辨率:2 [email protected] um pr厚度,真空接触
联系人:张垚
手机:13916855175
电话:021-56035615
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