操作简单,可编程控制器(plc)操作,pc控制,图像采集和数据记录,100多个程序配方,电动操纵杆控制,电动变焦显微镜和工作台,显微镜位置控制系统
•操纵杆控制,半自动
•掩模版尺寸高达14英寸
•基板尺寸8~12英寸
•均匀光束尺寸13.25*13.25英寸
•紫外线光源:紫外线灯,2 kw,5 kw
•光束波长:350~450 nm
•光束均匀性:<±5%
•365 nm强度:2 kw:~25 mw/㎠,5 kw:~45 mw/㎠
•定位方法:操纵杆控制,半自动
•对准精度:1 um
•操作模式:软、硬、真空接触和接近
•工艺分辨率:2 [email protected] um pr厚度,真空接触
联系人:张垚
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