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mda-80ms光刻机
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统，光刻机，紫外曝光机等；
midas为全球领先的半导体设备供应商，多年来致力于掩模对准光刻机和匀胶机研发与生产，并且广泛应用于半导体、微电子、生物器件和纳米科技领域；该公司是目前世界上最早将光刻机商品化的公司之一，拥有雄厚的技术研发力量和设备生产能力；并且其设备被众多著名企业、研发中心、研究所和高校所采用；以优秀的技术、精湛的工艺和良好的服务，赢得了用户的青睐。

产地：韩国midas公司，唯一能做到图形化蓝宝石衬底（pss）光刻机，高性价比
型号：mda-80ms
厂家链接：http://www.midas-china.com.cn/

mda-80ms

简单的操作和安装，plc操作与pc控制，小型半自动系统，图像抓取和数据记录，100多个程序配方

•pc控制，半自动操作

•掩模版尺寸达到9英寸

•基板尺寸为8英寸

•均匀光束尺寸8.25*8.25英寸

•光源：紫外线灯，1 kw

•光束波长350~450 nm

•光束均匀性 <±5%

•365 nm强度 ~25 mw/㎠

•手动操作

•对准精度1 um

•操作模式：软、硬、真空接触和接近

•工艺分辨率：1 [email protected] um pr厚度，真空接触

•尺寸（mm）：1400（宽）*1100（深）*1600（高）